3D 비 접촉식 측정현미경 : DCM8

      • The final image of the scan shown above

      • Metallic surface

      Steps of a confocal scan of a bump on a wafer

  • 3D 비 접촉식 측정현미경 : DCM8

    비접촉식 고정도 3D 계측을 위하여 특별히 개발된 Confocal과 간섭측정기술이 통합된 세계유일 Dual Core 시스템으로 Confocal Mode에서는 R,G,B,White의 4개의 LED를 통하여 Real HD Color이미지를 구현하며 최대 2nm 수직분해능 외 3종의 간섭모드를 선택하여 수직 주사 간섭 측정법 (VSI), 위상 간섭 측정법 (PSI)을 통하여 최대 0.1nm분해능을 통하여 빠르고 정교한 측정이 가능하도록 고안되었습니다. 3D 이미지와 측정이 필요한 다양한 요구에 고도의 정확도와 재현성을 구현합니다.

    Feature

    유일한 비접촉식 Dual Core Optical Imaging Profilometry(Confocal & Interferometry)
    최고의 정확도와 분해능(Confocal Mode : 최대 2 ㎚, Interferometry 0.1 ㎚)
    LED light sources: red (630 nm), green (530 nm), blue (460 nm) and white
    가변파장대로 여러 Layer층 분석가능
    샘플높이 150mm까지 수용 가능한 높은 Z축 Column채택
    (기본 40 mm standard, PSI 20 mm, ePSI 100 mm, VSI 10 mm)
    다양한 배율 Confocal Mode : 1.25× up to 150×, Interferometry mode 5x up to 50×
    폭넓은 Scan Stage : 100 x 75 ~ 300 x 300 mm
    BF/DF Mode HD 스캐닝 기술관찰

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