파티클 분광성분 분석현미경 : DM6M LIBS

진공상태에서 진행하여야 하는 SEM & EDS검사와는 다르게 광학현미경의 장점인 빠른 이미지 검출과 전처리과정없이 Integrated Laser spot시 발생되는 분광학으로 재료의 “미세 구조 및 화학적지문”(Chemical fingerprint)을 쉽고 빠르게 검출하기 위한 분광성분분석용 현미경입니다.

Feature

2-in-1 solution과 기존 DM6 M 사용자 LIBS Module 호환
기존 SEM & EDS 일반적인 방법에 비해 90%의 시간을 절약
깊이 Profile측정 및 Layer 재질 분석, 표면 cleaning기능